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贾凡尼效应镀铜线路过蚀怎么办?

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OSP、PTH、影像转移前处理等制程都有Micro-etch这个步骤,它们有何差异制程又为何?可否提供有关贾凡尼效应的资料及原理,贾凡尼效应发生在金手指连接的镀铜线路上,经过微蚀槽时(SPS+硫酸系列)线路会过蚀怎么办?

   Micro-etch也称为Mild-etch,用中文直译则为微蚀,意思就是进行微量蚀刻,一般常见的蚀刻量约为20-40microinch,当然也有低于或超出这个范围的案例。

   在各个制程中,厂商会使用不同微蚀药水完成工作。过硫酸钠溶液、硫酸双氧水系统、有机酸系统、超粗化系统等,都会出现在不同制程。相同药水可以出现在不同制程,不同药水也可能出现在相同制程。要如何使用,主要是依据使用者需求而定,例如:蚀刻速度、需要表面粗度、价格成本、制程稳定度、制程兼容性等。比较特殊的药水系统细部数据,建议您向供货商直接查询,至于一般自己可以配制的药水,大公司应该都有自己的实验数据,如果没有也可以向药水供货商寻求协助。

   贾凡尼效应是一种电化学反应,主要是指金属表面在进行化学反应时,会因为氧化还原电位差异而造成加速与减缓反应的作用。当活性金属与钝性金属相邻,活性金属会因此反应加速,相对的钝性金属反应就会明显减缓。两者间的氧化还原电位差距愈大,产生的影响程度就愈明显。

   所面对的是镀金区域周边铜金属微蚀问题,这种问题没有办法进行抑制,比较直接的方式可以进行线路补偿设计,将会减少的线路尺寸先行补偿回来是比较直接而有效的办法,以上供参考。